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将样机变为可以销售的商品还需要很多投入,预期的投入可能达到每年10亿欧元,以ASML的财力并没有能力独自完成这一切。为了解决这个问题,它邀请了英特尔、三星和台积电入股共同研发。终于,在2013年,量产的EUV光刻机NEX:3300B面世了——也就在这一年,温宁克和范登布林克接过了公司的领导权。
显示面板产业10年大发展已经走在全球“第一阵营”,但是并不是真正的高枕无忧。接下来在更细、更长的产业链上实现“自主安全”将是重要的市场方向与发展任务。后者也是我们从显示大国,向显示强国迈进的关键升级点之一。
台积电是从第二代的7nm工艺开始采用极紫外光刻机的,7nm之后的工艺,就将全部极紫外光刻机,随着5nm工艺的大规模投产,他们对极紫外光刻机的需求也越来越大。而消息人士透露,台积电正在加快研发极紫外光刻机工艺,他们预计到明年年底,极紫外光刻机的累计采购量将达到约55台。
目前还不清楚台积电已经向阿斯麦采购了多少台极紫外光刻机,但从阿斯麦的年报来看,他们从2012年就已开始交付极紫外光刻机,到今年二季度结束时,他们已累计向用户交付76台极紫外光刻机,按50%的比例计算,台积电目前拥有的极紫外光刻机,就是在38台左右。
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